Plaatsopgeloste depositie van Pt nanostructuren door het combineren van elektronenbundel geïnduceerde depositie en atoomlaagdepositie

Autor:	Dielissen, S.A.F., Mackus, A.J.M., Mulders, J.J.L., Kessels, W.M.M.
Přispěvatelé:	Plasma & Materials Processing, Selective atomic-scale processing for nanoelectronics, Atomic scale processing, Processing of low-dimensional nanomaterials
Jazyk:	Dutch; Flemish
Rok vydání:	2012
Zdroj:	Nevac Blad, 50(2), 7-9
ISSN:	0169-9431
Databáze:	OpenAIRE
Externí odkaz:	https://explore.openaire.eu/search/publication?articleId=narcis______::03f3e3fb8644caf3e8e8fec3f1badf2a https://research.tue.nl/nl/publications/92b1d7f2-434f-4867-98ac-07af444315b3 Zobrazit plný text záznamu