Effect of rapid thermal annealing on Al doped n-ZnO films grown by RF-magnetron sputtering

Autor: Kim, KK, Tampo, H, Song, JO, Seong, TY, Park, SJ, Lee, JM, Kim, SW, Fujita, S, Niki, S
Jazyk: angličtina
Rok vydání: 2005
Předmět:
Zdroj: JAPANESE JOURNAL OF APPLIED PHYSICS PART 1-REGULAR PAPERS BRIEF COMMUNICATIONS & REVIEW PAPERS. 44(7A):4776-4779
ISSN: 0021-4922
Databáze: OpenAIRE