Effect of rapid thermal annealing on Al doped n-ZnO films grown by RF-magnetron sputtering
Autor: | Kim, KK, Tampo, H, Song, JO, Seong, TY, Park, SJ, Lee, JM, Kim, SW, Fujita, S, Niki, S |
---|---|
Jazyk: | angličtina |
Rok vydání: | 2005 |
Předmět: | |
Zdroj: | JAPANESE JOURNAL OF APPLIED PHYSICS PART 1-REGULAR PAPERS BRIEF COMMUNICATIONS & REVIEW PAPERS. 44(7A):4776-4779 |
ISSN: | 0021-4922 |
Databáze: | OpenAIRE |
Externí odkaz: |