Effects of Substrate Temperature on Formation of Zinc Oxide Films by RF Magnetron Sputtering

Jazyk: japonština
Rok vydání: 2014
Předmět:
Zdroj: 愛知教育大学研究報告. 芸術・保健体育・家政・技術科学・創作編. 63:33-41
ISSN: 1884-5150
Databáze: OpenAIRE