走査型電子顕微鏡下でのナノメータオーダの3次元物体へのプロービング機構

Autor: Fukuda, Satoshi, Saya, Daisuke, Labachelerie, Michel de, Kawakatsu, Hideki
Jazyk: angličtina
Rok vydání: 1997
Zdroj: 生産研究. 49(12):615-616
ISSN: 0037-105X
Popis: 小特集 マイクロマシン
Databáze: OpenAIRE