走査型電子顕微鏡下でのナノメータオーダの3次元物体へのプロービング機構
| Autor: | Fukuda, Satoshi, Saya, Daisuke, Labachelerie, Michel de, Kawakatsu, Hideki |
|---|---|
| Jazyk: | angličtina |
| Rok vydání: | 1997 |
| Zdroj: | 生産研究. 49(12):615-616 |
| ISSN: | 0037-105X |
| Popis: | 小特集 マイクロマシン |
| Databáze: | OpenAIRE |
| Externí odkaz: |
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| Autor: | Fukuda, Satoshi, Saya, Daisuke, Labachelerie, Michel de, Kawakatsu, Hideki |
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| Jazyk: | angličtina |
| Rok vydání: | 1997 |
| Zdroj: | 生産研究. 49(12):615-616 |
| ISSN: | 0037-105X |
| Popis: | 小特集 マイクロマシン |
| Databáze: | OpenAIRE |
| Externí odkaz: |
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