Autor:	Onishi, Hiroshi, Yamazaki, Fuminori, Hakozaki, Yoshiro, Takemura, Masaki, Nezu, Atsushi, AKATSUKA, HIROSHI
Jazyk:	japonština
Rok vydání:	2022
Zdroj:	プラズマエレクトロニクス分科会会報.
Databáze:	OpenAIRE
Externí odkaz:	https://explore.openaire.eu/search/publication?articleId=jairo_______::d5fcf5cdd059c83013e686aaee282efc http://t2r2.star.titech.ac.jp/cgi-bin/publicationinfo.cgi?q_publication_content_number=CTT100875327 Zobrazit plný text záznamu