Proposal of DRIE-Fabricated Silicon Electrode Pairs for ECF Micropumps

Autor:	shimizu, misaki, KIM, Joon-wan, YOKOTA, SHINICHI, Edamura, Kazuya
Jazyk:	angličtina
Rok vydání:	2015
Předmět:	Micropump Electro-Conjugated Fluid(ECF) MEMS DRIE
Zdroj:	ICMDT2015 Proceedings.
Databáze:	OpenAIRE
Externí odkaz:	https://explore.openaire.eu/search/publication?articleId=jairo_______::bf109423bda734ca18f97c660f25bacc http://t2r2.star.titech.ac.jp/cgi-bin/publicationinfo.cgi?q_publication_content_number=CTT100690744 Zobrazit plný text záznamu