低化成電圧で作製したAl3Hｆ陽極酸化膜キャパシタの熱劣化機構
| Jazyk: | japonština |
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| Rok vydání: | 2000 |
| Předmět: | |
| Zdroj: | 電子情報通信学会論文誌. (7):663-665 |
| Popis: | 30V化成したAl3Hf陽極酸化膜キャパシタの，熱劣化の原因をオージェ電子分光分析によって検討した。その結果，Al上部電極／陽極酸化膜界面が崩壊することにより，金属状態のAlが陽極酸化膜中でわずかにつながった状態になるために，キャパシタが短絡することがわかった。 Copyright (c) by IEICE 許諾番号：09RC0079 IEICE Transactions Online : http://search.ieice.org/index.html application/pdf |
| Databáze: | OpenAIRE |
| Externí odkaz: |
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