Sample preparation techniques for physical analysis of VLSIs

Autor:	Sakai, Tetsushi
Jazyk:	angličtina
Rok vydání:	2004
Zdroj:	Microelectronics Reliability. 44:449-458
Databáze:	OpenAIRE
Externí odkaz:	https://explore.openaire.eu/search/publication?articleId=jairo_______::aae9d0af65f13432553b92164fd94608 http://t2r2.star.titech.ac.jp/cgi-bin/publicationinfo.cgi?q_publication_content_number=CTT100387897 Zobrazit plný text záznamu