Discharge characteristics and thin film character-istics in DLC films formation using the HF-HiPIMS method
| Autor: | Hiroyuki, Fukue, Tadayuki, Okano, Shinsuke, Kunitsugu, Hiroki, Oota, Ken, Yonezawa, Tatsuyuki, Nakatani |
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| Přispěvatelé: | 岡山理科大学大学院, 東京電子株式会社, 岡山県工業技術センター, ケニックス株式会社, 岡山理科大学フロンティア理工学研究所, Graduate School of Engineering - Systems Science Doctoral Program, Okayama University of Science, Tokyo Electronics Co., Ltd., Industrial Technology Center of Okayama Prefecture, Kenix Corporation, Institute of Frontier Science and Technology, Okayama University of Science |
| Jazyk: | japonština |
| Rok vydání: | 2020 |
| Zdroj: | フロンティア理工学研究所研究報告 = The bulletin of Research Institute of Frontier Science and Technology. 2:11-15 |
| Databáze: | OpenAIRE |
| Externí odkaz: |
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