Siウェハライフタイム測定条件の最適化
| Jazyk: | japonština |
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| Rok vydání: | 2021 |
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| Zdroj: | 九州大学応用力学研究所技術室 技術室報告. 3:8-12 |
| Popis: | 半導体デバイスの特性と製造工程におけるSi ウェハの性質を包括的に評価する指標として、少数キャリアライフタイムが挙げられる。ライフタイムを正しく評価するためには、表面再結合を抑制し、バルクライフタイムの測定手法を確立する必要がある。本報告では、キンヒドロン-メタノール溶液によるパッシベーションを施したSi ウェハのライフタイムを測定し、溶液の組成等がライフタイムに与える影響を考察することで、測定条件の最適化を試みた。 |
| Databáze: | OpenAIRE |
| Externí odkaz: |
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