Electrostatic manipulation of a micro-conductive particle with short particle-plate distance

Autor: Nakabayashi, Daizo, SAWAI, Kenji, TAKAHASHI, KUNIO, SAITO, Shigeki
Jazyk: japonština
Rok vydání: 2011
Zdroj: 2011年度精密工学会春季大会論文集.
Databáze: OpenAIRE