Autor:	Numaguchi, Toru, Mizuno, Takehito, Namiki, Akihisa, Tsuzuki, Syuichi
Jazyk:	angličtina
Rok vydání:	2008
Zdroj:	IEEE International Symposium on Semiconductor Manufacturing Conference Proceedings. :361
Databáze:	OpenAIRE
Externí odkaz:	https://explore.openaire.eu/search/publication?articleId=jairo_______::95d76564c78a48c44dccf7fd0b212197 http://t2r2.star.titech.ac.jp/cgi-bin/publicationinfo.cgi?q_publication_content_number=CTT100673311 Zobrazit plný text záznamu