Nano-fluctuation of Pneumatic Servo Bearing Actuator for Ultraprecise Positioning
| Autor: | Takakazu, Kitagawa, Tomoko, Hirayama, Takashi, Matsuoka, Masato, Kadotani, Hiroki, Danjyo, Katsumi, Sasaki, Hiroshi, Yabe |
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| Jazyk: | japonština |
| Rok vydání: | 2008 |
| Předmět: | |
| Zdroj: | 同志社大学理工学研究報告 = The Science and Engineering Review of Doshisha University. 48(4):234-240 |
| ISSN: | 0036-8172 |
| Popis: | 超精密位置決め用の空気圧サーボ弁と静圧軸受から成る新しいアクチュエータ'空気圧サーボ軸受アクチュエータ'を提案している。このアクチュエータは空気圧サーボ弁によって給気圧力を制御することによって、超精密位置決めを実現することが可能である。しかしながら、一般的に静圧軸受は減衰能が小さい為に支持物体が微小に振動するという報告がなされている。そこで、提案しているアクチュエータの高信頼性を実現する為に軸受の微小振れを低減する必要がある。本研究では静圧軸受における微小振れの主な要因の検討と、その微小振れを低減させる軸受形状・作動条件を提案した。結果から、微小振れの大きさを明確にし、多連構造にすることでさらに微小振れを低減できることを示した。 A new actuator 'pneumatic servo bearing actuator' consists of aerostatic bearing and pneumatic servo valve has been proposed for ultraprecise positioning. The actuator can realize the ultraprecise positioning by controlling inlet air pressure by pneumatic servo valve. However, it has been reported that aerostatic bearings bring nano-fluctuations of supported object because of their small damping abilities. Therefore, to prove the high reliability of the proposed actuator, nano-fluctuations of the bearing have to be reduced as much as possible. In this paper, the order of nano-fluctuations occurring in the aerostatic bearing and its conditions were investigated, and the design of the pneumatic servo bearing actuator with smaller fluctuations was presented. As a result, the amount of nano-fluctuations was clarified, where the laminate type mechanism was proposed to reduce the nano-fluctuations in greater-extend. |
| Databáze: | OpenAIRE |
| Externí odkaz: |
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