Electron beam lithography in processes for electron/opto/teraherz devices

Autor:	MIYAMOTO, YASUYUKI, Nishiyama, Nobuhiko, Suzuki, Safumi
Jazyk:	angličtina
Rok vydání:	2023
Databáze:	OpenAIRE
Externí odkaz:	https://explore.openaire.eu/search/publication?articleId=jairo_______::86b78945e171d6456734bffbc8eea342 http://t2r2.star.titech.ac.jp/cgi-bin/publicationinfo.cgi?q_publication_content_number=CTT100887486 Zobrazit plný text záznamu