Phase-shifting interferometry using estimated initial phases
| Jazyk: | japonština |
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| Rok vydání: | 2021 |
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| Zdroj: | 東京工芸大学工学部紀要 = The Academic Reports, the Faculty of Engineering, Tokyo Polytechnic University. 44(1):26-31 |
| ISSN: | 0387-6055 |
| Popis: | 位相シフト干渉法は干渉する2光波間に一定の位相シフトを導入したときの3つ以上の干渉縞画像から被検の位相分布を百分の1波長以上の精度で導出する方法で、高精度位相計測の強力な手段として注目されている。しかし、その計測精度は位相シフトに大きく依存し、高価なピエゾ素子が必要な上、キャリブレーションもしばしばと問題となる。この問題を解決するため、試料のない直線的な干渉縞領域を用いた高精度初期位相推定法を提案し、コンピュータシミュレーションでその有効性を確かめた。 Phase-shifting interferometry is a very powerful tool for high-precision measurement both in industry and in scientific research. However, the measurement accuracy is strictly affected by the phase shift values that introduced to form interferograms. Usually an expensive equipment such as a piezoelectric device is used, and a pre-calibration procedure is also needed. The authors propose a method to estimate the phase shift value of each interferogram from the intensity distribution. The usefulness of the proposed method was demonstrated by computer simulation. |
| Databáze: | OpenAIRE |
| Externí odkaz: |
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