Derivation and Comparison of Electron Temperature and Density of Atmospheric-pressure Non-equilibrium Ar Plasma by Optical Emission Spectroscopy
| Autor: | Onishi, Hiroshi, Nezu, Atsushi, AKATSUKA, HIROSHI |
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| Jazyk: | japonština |
| Rok vydání: | 2019 |
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| Zdroj: | 2019年 第66回応用物理学会春季学術講演会 講演予稿集. |
| Popis: | 大気圧非平衡プラズマは近年、工業や農業、医療などの分野に応用され始めている。しかし、このプラズマの性質を決定する上で重要なパラメータである「電子温度」と「電子密度」の計測手法がいまだ確立されていない。そこで本研究では、発光分光計測(OES)によって測定した大気圧非平衡Arプラズマから、これらのパラメータを線スペクトルや連続スペクトルなどの発光スペクトルを様々な方法で解析して導出し、比較検討する。 Recently, the atmospheric-pressure non-equilibrium plasma is being applied to various fields such as industry, agriculture, medical treatment and so on. However, the measurement methods of the electron temperature and density, which are important parameters on decision of this plasma, are not established. Therefore, the objective of this study is to find these parameters of the atmospheric-pressure non-equilibrium Ar plasma measured by Optical Emission Spectroscopy (OES). In this study, the method to analyze the emission-spectrum such as line spectrum, continuum spectrum, the Stark broadening and number density of excited states are derived with various theories and compared with some discussion. |
| Databáze: | OpenAIRE |
| Externí odkaz: |
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