Crystallographic and Microscopic Structures of AlN Films by Plasma Assisted Deposition Technique
| Autor: | ONO, Shoji, YOSHIZAWA, Isao |
|---|---|
| Jazyk: | angličtina |
| Rok vydání: | 1993 |
| Zdroj: | 茨城大学教育学部紀要 (自然科学). (42):35-43 |
| Popis: | application/pdf 論文(Article) |
| Databáze: | OpenAIRE |
| Externí odkaz: |
|