積層メタルMEMS慣性センサの長期振動特性評価
Autor: | Yamane, Daisuke, Konishi, Toshifumi, Safu, Teruaki, Tachibana, Koichiro, Teranishi, Minami, Chen, Chun Yi, Chang, Tso-Fu Mark, Sone, Masato, Machida, Katsuyuki, Masu, Kazuya |
---|---|
Jazyk: | japonština |
Rok vydání: | 2017 |
Databáze: | OpenAIRE |
Externí odkaz: |