A Study on DRIE-Fabricated Silicon Electrode Pairs for ECF Micropump

Autor: shimizu, misaki, KIM, Joon-wan, YOKOTA, SHINICHI, Edamura, Kazuya
Jazyk: japonština
Rok vydání: 2015
Zdroj: 日本設計工学会 2015年度春季大会研究発表講演会講演論文集. :81-82
Databáze: OpenAIRE