A Study on DRIE-Fabricated Silicon Electrode Pairs for ECF Micropump
Autor: | shimizu, misaki, KIM, Joon-wan, YOKOTA, SHINICHI, Edamura, Kazuya |
---|---|
Jazyk: | japonština |
Rok vydání: | 2015 |
Zdroj: | 日本設計工学会 2015年度春季大会研究発表講演会講演論文集. :81-82 |
Databáze: | OpenAIRE |
Externí odkaz: |