RF マグネトロンスパッタリング法によるPt/MgO/Si （₀₀₁） ヘテロエピタキシャル成長薄膜電極の作製 ～PZT/Pt/MgO からのPZT/Pt 自立膜の作 製のためのエッチング条件の検討～

Autor:	Nunome, Takanori, Sakamoto, Naonori, SHINOZAKI, KAZUO, Suzuki, Hisao, wakiya, naoki
Jazyk:	japonština
Rok vydání:	2012
Zdroj:	日本セラミックス協会第25回秋季シンポジウム講演予稿集.
Databáze:	OpenAIRE
Externí odkaz:	https://explore.openaire.eu/search/publication?articleId=jairo_______::532b8e30b6fbe7b40a6fe8e3d98decc1 http://t2r2.star.titech.ac.jp/cgi-bin/publicationinfo.cgi?q_publication_content_number=CTT100673587 Zobrazit plný text záznamu