Jazyk:	japonština
Rok vydání:	2001
Předmět:	electron-cyclotron-resonance ferrite ECR sputtering low temperature processing ECRスパッタリング低温作製 spark-plasma-sintering スパッタリングフェライト放電プラズマ焼結 sputtering 電子サイクロトロン共鳴
Zdroj:	マグネティックス, マイクロマシン・センサシステム合同研究会資料. :35-40
Databáze:	OpenAIRE
Externí odkaz:	https://explore.openaire.eu/search/publication?articleId=jairo_______::3bd90abded926380326b95c2a33c2b99 https://petit.lib.yamaguchi-u.ac.jp/15625 Zobrazit plný text záznamu