半導体薄膜光集積に向けたOMVPEによるGaInAsPのButt-Joint再成長
Autor: | Inoue, Daisuke, Lee, Jieun, Shindou, Takahiko, Futami, Mitsuaki, Doi, Kyohei, Amemiya, Tomohiro, Nishiyama, Nobuhiko, ARAI, SHIGEHISA |
---|---|
Jazyk: | japonština |
Rok vydání: | 2013 |
Zdroj: | 第60回応用物理学関係連合講演会. |
Databáze: | OpenAIRE |
Externí odkaz: |