2l psec Switching 0.13μm-CMOS at Room Temperature Using High Performance Co Salicide Process
Autor: | Yamazaki, Tatsuya, Fukano, Tetsu, Nara, Yasuo, Sugii, Toshihiro, Ito, Takashi |
---|---|
Jazyk: | angličtina |
Rok vydání: | 1993 |
Zdroj: | IEDM Dig. of Tech.. :906-909 |
Databáze: | OpenAIRE |
Externí odkaz: |