研究解説 : Resonant-type Micro-probe for Vertical Profiler
Autor: | LEBRASSEUR, Eric, BOUROUINA, Tarik, POURCIEL, Jean-Bernard, OZAKI, Munekatsu, MASUZAWA, Takahisa, FUJITA, Hiroyuki |
---|---|
Jazyk: | angličtina |
Rok vydání: | 2001 |
Zdroj: | 生産研究. 53(2):123-126 |
ISSN: | 1881-2058 |
Popis: | マイクロマシン特集号 |
Databáze: | OpenAIRE |
Externí odkaz: |