研究解説 : Resonant-type Micro-probe for Vertical Profiler
| Autor: | LEBRASSEUR, Eric, BOUROUINA, Tarik, POURCIEL, Jean-Bernard, OZAKI, Munekatsu, MASUZAWA, Takahisa, FUJITA, Hiroyuki |
|---|---|
| Jazyk: | angličtina |
| Rok vydání: | 2001 |
| Zdroj: | 生産研究. 53(2):123-126 |
| ISSN: | 1881-2058 |
| Popis: | マイクロマシン特集号 |
| Databáze: | OpenAIRE |
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