Cl2 plasma exposure behavior of yttrium oxyfluoride ceramics

Autor:	Miyashita, Kenji, Yoshida, Katsumi, Kishi, Yukio, Matsukura, Kento
Jazyk:	angličtina
Rok vydání:	2021
Databáze:	OpenAIRE
Externí odkaz:	https://explore.openaire.eu/search/publication?articleId=jairo_______::2672b96212d63d450b34a9650999e56d http://t2r2.star.titech.ac.jp/cgi-bin/publicationinfo.cgi?q_publication_content_number=CTT100855480 Zobrazit plný text záznamu