Diagnosticsof Electron Temperatureand Densityof Low-pressure Microwave Discharge Ar Plasma by Optical Emission Spectroscopy Based on Collisional Radiative Model
| Autor: | Yamazaki, Fuminori, Nezu, Atsushi, AKATSUKA, HIROSHI |
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| Jazyk: | japonština |
| Rok vydání: | 2019 |
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| Zdroj: | 2019年 第66回応用物理学会春季学術講演会 講演予稿集. |
| Popis: | 衝突輻射モデルに基づき、電子温度・密度診断モデルを作成し、発光分光計測によりその診断モデルの有用性を検証した。対象としたのは低気圧マイクロ波放電Arプラズマである。電子温度は5p及び6p準位、電子密度は4s、4p及び5s準位を用いて診断モデルを作成した。また、モデル作成に際し、電子のエネルギー分布はMaxwell分布もしくはDruyvesteyn分布を仮定した。プローブ計測と診断結果を比較したところ、大略が一致する計測を行うことが出来た。 Diagnostic models of the electron temperature and density are developed for low-pressure microwave discharge Ar plasma based on the collisional radiative model, and the applicability of the diagnostic models is verified by optical emission spectroscopy. The diagnostic models of the electron temperature and density are described by Ar excited levels 5p, 6p and 4s, 4p, 5s, respectively. When developing the diagnostic models, the electron energy distribution function is assumed to be a Maxwell or a Druyvesteyn one. Comparison with the probe measurement reveals that the diagnostic results of the proposed method roughly agree with those of the probe measurement. |
| Databáze: | OpenAIRE |
| Externí odkaz: |
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