Effect of O2 on F and CF2 Emission Intensities in a CF4 Hollow Cathode Discharge
| Autor: | Asoh, Yoshinori, Takayama, Daisuke, Goto, Miki, Arai, Toshihiko |
|---|---|
| Jazyk: | japonština |
| Rok vydání: | 1993 |
| Zdroj: | 神奈川工科大学研究報告.B,理工学編. 17:195-198 |
| ISSN: | 0916-1902 |
| Popis: | application/pdf 電気電子工学 |
| Databáze: | OpenAIRE |
| Externí odkaz: |
|