パルス真空アーク蒸着法による炭化タングステン膜の合成

Autor: Aizawa, Kouichi, HIRATA, ATSUSHI
Jazyk: japonština
Rok vydání: 2009
Zdroj: 2009年度精密工学会春季大会学術講演会講演論文集. :685-686
Databáze: OpenAIRE