パルス真空アーク蒸着法による炭化タングステン膜の合成
Autor: | Aizawa, Kouichi, HIRATA, ATSUSHI |
---|---|
Jazyk: | japonština |
Rok vydání: | 2009 |
Zdroj: | 2009年度精密工学会春季大会学術講演会講演論文集. :685-686 |
Databáze: | OpenAIRE |
Externí odkaz: |
Autor: | Aizawa, Kouichi, HIRATA, ATSUSHI |
---|---|
Jazyk: | japonština |
Rok vydání: | 2009 |
Zdroj: | 2009年度精密工学会春季大会学術講演会講演論文集. :685-686 |
Databáze: | OpenAIRE |
Externí odkaz: |