Design Fabrication and Calibration of Three Target Magnetron Co-sputtering System for Shape memory Alloy Thin Films
| Autor: | Sharma, Sudhir Kumar, Jithin, MA, Sumesh, MA, Mohan, S |
|---|---|
| Rok vydání: | 2009 |
| Předmět: | |
| Zdroj: | IndraStra Global. |
| ISSN: | 2381-3652 |
| Databáze: | OpenAIRE |
| Externí odkaz: |
|