Effect of Penning Ionization on the Balance of Charged Particles in Plasma of a Stationary Reflex Discharge
| Autor: | Kovtun, Yu. V., Ozerov, A. N., Skibenko, E. I., Yuferov, V. B. |
|---|---|
| Jazyk: | angličtina |
| Rok vydání: | 2019 |
| Předmět: | |
| Zdroj: | Ukrainian Journal of Physics; Vol. 61 No. 8 (2016); 702 Український фізичний журнал; Том 61 № 8 (2016); 702 |
| ISSN: | 2071-0194 2071-0186 |
| DOI: | 10.15407/ujpe61.08 |
| Popis: | A model of stationary reflex discharge, which is based on the volume-averaged (global) one, has been considered in the case of weakly ionized non-isothermal plasma. The temperature and the density of plasma electrons are calculated. The process of cathode sputtering and the formation of sputtered ions by means of the electron impact ionization, Penning ionization, and sputtered ion charge exchange at gas ions in plasma are analyzed. The dependence of the ionization degree of sputtered atoms on plasma parameters is determined. The influence of the Penning ionization on the balance of charged particles in plasma is considered. Розглянуто модель стацiонарного вiдбивного розряду на основi просторово-усередненої (global) моделi у випадку слабкоiонiзованої неiзотермiчної плазми. Проведено розрахунок температури та густини електронiв плазми. Розглянуто процеси розпилювання катода та утворення iонiв розпорошених атомiв за рахунок iонiзацiї електронним ударом, пеннiнговської iонiзацiї та перезарядження на iонах газу у плазмi. Визначено ступiнь iонiзацiї розпорошених атомiв вiд параметрiв плазми. Розглянуто вплив пеннiнговської iонiзацiї на баланс заряджених частинок у плазмi. |
| Databáze: | OpenAIRE |
| Externí odkaz: |
|