Sensitive element for fiber-optic converter of sonar signal
| Autor: | Egorov Fedor Andreevich, Amelichev Vladimir Vikorovich, Generalov Sergey Sergeevich |
|---|---|
| Přispěvatelé: | Работа выполнена при финансовой поддержке Минобрнауки России в рамках соглашения №14.579.21.0078 о предоставлении субсидий. Уникальный идентификатор проекта RFMEFI57914X0078. |
| Jazyk: | ruština |
| Rok vydání: | 2016 |
| Předmět: | |
| Zdroj: | Science, education, society: tendencies and future development; 38-42 Наука, образование, общество: тенденции и перспективы развития; 38-42 |
| DOI: | 10.21661/r-115756 |
| Popis: | данная работа посвящена разработке микромеханического чувствительного элемента для волоконно-оптического преобразователя гидроакустического сигнала (ВОПГАС). Разработанный экспериментальный чувствительный элемент ВОПГАС представляет собой кремниевый кристалл с тонкой восьмигранной диэлектрической мембраной, закрепленной на кремниевой рамке. В центральной области гофрированной мембраны сформирован отражающий свет элемент на основе комбинации слоев Ni и NiCr общей толщиной 0,5 мкм. Среднее значение механической чувствительности экспериментального чувствительного элемента ВОПГАС в условиях водной среды составило 114 нм/Па, в диапазоне частот от 100 Гц до 6 кГц, при этом среднее значение резонансной частоты составило 9,1 кГц. |
| Databáze: | OpenAIRE |
| Externí odkaz: |
|