Electrical characteristics of metall-TiO2-Si structures on an alternating signal

Jazyk: ruština
Rok vydání: 2015
Předmět:
Zdroj: Известия высших учебных заведений. Физика. 2015. Т. 58, № 8/3. С. 139-142
Popis: Исследованы структуры Ni/V-TiO2- n- Si-V/Ni с пленкой TiO2, полученной методом ВЧ-магнетронного распыления мишени, изготовленной из оксида титана. Установлено, что используемая технология изготовления образцов в сочетании с отжигом пленок TiO2 при 500 ° С приводит к формированию кристаллитов анатаза и рутила в аморфной матрице; в сочетании с отжигом при 750 °С - к формированию кристаллитов только фазы рутила. Измеренные фотоэлектрические характеристики свидетельствуют о низком коэффициенте пропускания пленками TiO2 света с λ = 400 нм.
Databáze: OpenAIRE