Генерация низкотемпературной плазмы дуговых разрядов низкого давления для синтеза износостойких нитридных покрытий

Přispěvatelé:	Томский государственный университет Физический факультет Кафедра физики плазмы, Томский государственный университет Физический факультет Научные подразделения ФФ
Jazyk:	ruština
Rok vydání:	2014
Předmět:	плазма нитридные покрытия плазменное ассистирование дуговой разряд вакуумно-дуговое осаждение газометаллическая плазма
Zdroj:	Известия высших учебных заведений. Физика. 2014. Т. 57, № 11/3. С. 87-92
Databáze:	OpenAIRE
Externí odkaz:	https://explore.openaire.eu/search/publication?articleId=httpsopenrep::c95ab5e21550a20187dc9f3200708abd https://openrepository.ru/article?id=805483 Zobrazit plný text záznamu