Исследование электрических характеристик структур TiO2-Si

Přispěvatelé:	Томский государственный университет Радиофизический факультет Публикации студентов и аспирантов РФФ, Томский государственный университет Радиофизический факультет Кафедра полупроводниковой электроники, Томский государственный университет Физический факультет Кафедра физики полупроводников, Томский государственный университет Радиофизический факультет Научные подразделения РФФ, Томский государственный университет Сибирский физико-технический институт Научные подразделения СФТИ
Jazyk:	ruština
Rok vydání:	2013
Předmět:	оксиды титана вольт-сименсные характеристики кислородная плазма термический отжиг вольт-фарадные характеристики диэлектрическая проницаемость кремний
Zdroj:	Известия высших учебных заведений. Физика. 2013. Т. 56, № 8/3. С. 147-149
Databáze:	OpenAIRE
Externí odkaz:	https://explore.openaire.eu/search/publication?articleId=httpsopenrep::26fff195577e53d8df6705825dc5244d https://openrepository.ru/article?id=802701 Zobrazit plný text záznamu