3D Free-Form Patterning of Silicon by Ion Implantation, Silicon Deposition and Selective Silicon Etching
| Autor: | A.C. Fischer, L.M. Belova, Y.G.M. Rikers, B.G. Malm, H.H. Radamson, M. Kolahdouz, K.B. Gylfason, G. Stemme, F. Niklaus |
|---|---|
| Jazyk: | angličtina |
| Rok vydání: | 2012 |
| Zdroj: | Advanced Functional Materials. |
| Databáze: | OpenAIRE |
| Externí odkaz: |
|