Efficient Phase and Quadrature Control of a PZT Resonant MEMS Microscanner with Piezoresistive Position Sensor
Autor: | Paolo Frigerio, Lorenzo Giancristofaro, Luca Molinari, Raffaele Furceri, Marco Zamprogno, Roberto Carminati, Nicolo Boni, Giacomo Langfelder |
---|---|
Jazyk: | angličtina |
Rok vydání: | 2022 |
Databáze: | OpenAIRE |
Externí odkaz: |