Vertically integrated modeling of light-induced defects: Process modeling, degradation kinetics and device impact
Autor: | Matthias Wagner, Franziska Wolny, Hannu S. Laine, Tonio Buonassisi, Henri Vahlman, Antti Haarahiltunen, Mallory A. Jensen, Hele Savin, Chiara Modanese |
---|---|
Rok vydání: | 2018 |
Předmět: | |
Zdroj: | AIP Conference Proceedings. |
ISSN: | 0094-243X |
Databáze: | OpenAIRE |
Externí odkaz: |