Phase separation in co-sputtered immiscible Cu-Ta alloy films
Autor: | Müller, Claudia M. |
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Přispěvatelé: | Spolenak, Ralph, Studart, André R. |
Jazyk: | angličtina |
Rok vydání: | 2014 |
Předmět: |
LEGIERUNGEN
ALLOYS KRISTALLSTRUKTURANALYSE MIT RÖNTGENSTRAHLEN KUPFERLEGIERUNGEN MICROSTRUCTURE OF MOLECULAR SYSTEMS (PHYSICS) TANTALUM ALLOYS ION SPUTTERING (ELECTRODYNAMICS) MOLECULAR DYNAMICS (MOLECULAR PHYSICS) SEGREGATION (METALLURGY) ERZEUGUNG DÜNNER SCHICHTEN (PHYSIK VON MOLEKULARSYSTEMEN) COPPER ALLOYS MOLEKULARE DYNAMIK (MOLEKÜLPHYSIK) X-RAY CRYSTAL STRUCTURE ANALYSIS MIKROSTRUKTUR VON MOLEKULARSYSTEMEN (PHYSIK) IONENSPUTTERING (ELEKTRODYNAMIK) TANTALLEGIERUNGEN ENTMISCHUNG + SEIGERUNG (METALLURGIE) PRODUCTION OF THIN FILMS (PHYSICS OF MOLECULAR SYSTEMS) Engineering & allied operations ddc:620 |
DOI: | 10.3929/ethz-a-010349789 |
Databáze: | OpenAIRE |
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