Spatial resolution enhancement of near field microwave microscope
Autor: | Tuami Lasri, Sijia Gu, Tianjun Lin |
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Přispěvatelé: | Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 (IEMN), Centrale Lille-Institut supérieur de l'électronique et du numérique (ISEN)-Université de Valenciennes et du Hainaut-Cambrésis (UVHC)-Université de Lille-Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS)-Université Polytechnique Hauts-de-France (UPHF), Microtechnology and Instrumentation for Thermal and Electromagnetic Characterization - IEMN (MITEC - IEMN), Centrale Lille-Institut supérieur de l'électronique et du numérique (ISEN)-Université de Valenciennes et du Hainaut-Cambrésis (UVHC)-Université de Lille-Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS)-Université Polytechnique Hauts-de-France (UPHF)-Centrale Lille-Institut supérieur de l'électronique et du numérique (ISEN)-Université de Valenciennes et du Hainaut-Cambrésis (UVHC)-Université de Lille-Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS)-Université Polytechnique Hauts-de-France (UPHF) |
Jazyk: | angličtina |
Rok vydání: | 2016 |
Předmět: |
Scanning Hall probe microscope
Spatial resolution Microscope Materials science business.industry 020208 electrical & electronic engineering Near-field scanning microwave microscope Evanescent microwave probe 020206 networking & telecommunications Near and far field 02 engineering and technology law.invention 2D imaging Interferometry Scanning probe microscopy [SPI]Engineering Sciences [physics] Optics law 0202 electrical engineering electronic engineering information engineering Near-field scanning optical microscope business Image resolution Microwave |
Zdroj: | 46th European Microwave Conference, EuMC 2016 46th European Microwave Conference, EuMC 2016, Oct 2016, London, United Kingdom. pp.544-547, ⟨10.1109/EuMC.2016.7824400⟩ |
DOI: | 10.1109/EuMC.2016.7824400⟩ |
Popis: | International audience; A near-field scanning microwave microscope based on an interferometric technique is proposed in this work. To ensure an optimal spatial resolution, crucial parameters of the evanescent microwave probe are finely studied including the tip apex, the stand-off distance and the scanning step size. © 2016 EuMA. |
Databáze: | OpenAIRE |
Externí odkaz: |