Spatial resolution enhancement of near field microwave microscope

Autor: Tuami Lasri, Sijia Gu, Tianjun Lin
Přispěvatelé: Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 (IEMN), Centrale Lille-Institut supérieur de l'électronique et du numérique (ISEN)-Université de Valenciennes et du Hainaut-Cambrésis (UVHC)-Université de Lille-Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS)-Université Polytechnique Hauts-de-France (UPHF), Microtechnology and Instrumentation for Thermal and Electromagnetic Characterization - IEMN (MITEC - IEMN), Centrale Lille-Institut supérieur de l'électronique et du numérique (ISEN)-Université de Valenciennes et du Hainaut-Cambrésis (UVHC)-Université de Lille-Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS)-Université Polytechnique Hauts-de-France (UPHF)-Centrale Lille-Institut supérieur de l'électronique et du numérique (ISEN)-Université de Valenciennes et du Hainaut-Cambrésis (UVHC)-Université de Lille-Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS)-Université Polytechnique Hauts-de-France (UPHF)
Jazyk: angličtina
Rok vydání: 2016
Předmět:
Zdroj: 46th European Microwave Conference, EuMC 2016
46th European Microwave Conference, EuMC 2016, Oct 2016, London, United Kingdom. pp.544-547, ⟨10.1109/EuMC.2016.7824400⟩
DOI: 10.1109/EuMC.2016.7824400⟩
Popis: International audience; A near-field scanning microwave microscope based on an interferometric technique is proposed in this work. To ensure an optimal spatial resolution, crucial parameters of the evanescent microwave probe are finely studied including the tip apex, the stand-off distance and the scanning step size. © 2016 EuMA.
Databáze: OpenAIRE