Fabrication and Optimization of High Frequency ZnO Transducers for Both Longitudinal and Shear Emission: Application of Viscosity Measurement using Ultrasound
| Autor: | Vincent Thomy, Bertrand Nongaillard, Malika Toubal, Pierre Campistron, Souad Harmand, Julien Carlier, Ibrahim Zaaroura, Abbas Ramez Salhab, Hatem Dahmani, Marc Neyens |
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| Přispěvatelé: | Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 (IEMN), Centrale Lille-Institut supérieur de l'électronique et du numérique (ISEN)-Université de Valenciennes et du Hainaut-Cambrésis (UVHC)-Université de Lille-Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS)-Université Polytechnique Hauts-de-France (UPHF), Matériaux et Acoustiques pour MIcro et NAno systèmes intégrés - IEMN (MAMINA - IEMN), Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - Département Opto-Acousto-Électronique - UMR 8520 (IEMN-DOAE), Centrale Lille-Institut supérieur de l'électronique et du numérique (ISEN)-Université de Valenciennes et du Hainaut-Cambrésis (UVHC)-Université de Lille-Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS)-Université Polytechnique Hauts-de-France (UPHF)-Centrale Lille-Institut supérieur de l'électronique et du numérique (ISEN)-Université de Valenciennes et du Hainaut-Cambrésis (UVHC)-Université de Lille-Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS)-Université Polytechnique Hauts-de-France (UPHF)-Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 (IEMN), Centrale Lille-Institut supérieur de l'électronique et du numérique (ISEN)-Université de Valenciennes et du Hainaut-Cambrésis (UVHC)-Université de Lille-Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS)-Université Polytechnique Hauts-de-France (UPHF)-Centrale Lille-Institut supérieur de l'électronique et du numérique (ISEN)-Université de Valenciennes et du Hainaut-Cambrésis (UVHC)-Université de Lille-Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS)-Université Polytechnique Hauts-de-France (UPHF), Laboratoire d'Automatique, de Mécanique et d'Informatique industrielles et Humaines - UMR 8201 (LAMIH), Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS)-Université Polytechnique Hauts-de-France (UPHF)-INSA Institut National des Sciences Appliquées Hauts-de-France (INSA Hauts-De-France), Institut National des Sciences Appliquées (INSA)-Institut National des Sciences Appliquées (INSA), STMicroelectronics [Crolles] (ST-CROLLES), Bio-Micro-Electro-Mechanical Systems - IEMN (BIOMEMS - IEMN), This work was partially supported by the French Renatech network. A part of the cost has also been supported by STMicroelectronics and Hauts-de-France region., Renatech Network, Laboratoire commun STMicroelectronics-IEMN T3, Centrale Lille-Institut supérieur de l'électronique et du numérique (ISEN)-Université de Valenciennes et du Hainaut-Cambrésis (UVHC)-Université de Lille-Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS)-Université Polytechnique Hauts-de-France (UPHF)-Centrale Lille-Institut supérieur de l'électronique et du numérique (ISEN)-Université de Valenciennes et du Hainaut-Cambrésis (UVHC)-Université de Lille-Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS)-Université Polytechnique Hauts-de-France (UPHF)-INSA Institut National des Sciences Appliquées Hauts-de-France (INSA Hauts-De-France)-Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 (IEMN), Centrale Lille-Institut supérieur de l'électronique et du numérique (ISEN)-Université de Valenciennes et du Hainaut-Cambrésis (UVHC)-Université de Lille-Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS)-Université Polytechnique Hauts-de-France (UPHF)-Centrale Lille-Institut supérieur de l'électronique et du numérique (ISEN)-Université de Valenciennes et du Hainaut-Cambrésis (UVHC)-Université de Lille-Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS)-Université Polytechnique Hauts-de-France (UPHF)-INSA Institut National des Sciences Appliquées Hauts-de-France (INSA Hauts-De-France) |
| Rok vydání: | 2020 |
| Předmět: |
Materials science
Fabrication Physics and Astronomy (miscellaneous) Shear and Longitudinal waves 02 engineering and technology 01 natural sciences [SPI.MAT]Engineering Sciences [physics]/Materials Viscosity measurement [SPI]Engineering Sciences [physics] Highfrequency Management of Technology and Innovation 0103 physical sciences [SPI.NANO]Engineering Sciences [physics]/Micro and nanotechnologies/Microelectronics Composite material 010301 acoustics Engineering (miscellaneous) [SPI.ACOU]Engineering Sciences [physics]/Acoustics [physics.class-ph] ZnO Transducer business.industry Ultrasound 021001 nanoscience & nanotechnology C-axis inclined ZnO Matching network Shear (sheet metal) Transducer Volume and Shear viscosities 0210 nano-technology business |
| Zdroj: | Advances in Science, Technology and Engineering Systems Journal Advances in Science, Technology and Engineering Systems Journal, 2020, 5 (6), pp.1428-1435. ⟨10.25046/aj0506173⟩ Advances in Science, Technology and Engineering Systems Journal, Advances in Science Technology and Engineering Systems Journal (ASTESJ), 2020, 5 (6), pp.1428-1435. ⟨10.25046/aj0506173⟩ |
| ISSN: | 2415-6698 |
| Popis: | International audience; This paper covers the study of high-frequency (~ 1 GHz) ZnO piezoelectric transducer integrated on a silicon substrate able to generate both compressional and shear acoustic waves. First, to promote the longitudinal mode, an electrical matching of the transducer in this high-frequency range is effectuated. Second, to promote shear waves, new deposition conditions were applied, giving thin zinc oxide films of inclined c-axis. The RF microprobe was used to validate the transducer design and to conduct the viscosity measurements. Thus, the shear and the volume viscosity of a water droplet were measured. |
| Databáze: | OpenAIRE |
| Externí odkaz: |
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