Passive and chipless packaged sensor for the wireless pressure monitoring in harsh environment

Autor: J. Philippe, Hervé Aubert, Dominique Henry, Cristina Arenas, Patrick Pons, Anthony Coustou, Alexandre Rumeau
Přispěvatelé: Équipe MIcro et Nanosystèmes pour les Communications sans fil (LAAS-MINC), Laboratoire d'analyse et d'architecture des systèmes (LAAS), Université Toulouse - Jean Jaurès (UT2J)-Université Toulouse 1 Capitole (UT1), Université Fédérale Toulouse Midi-Pyrénées-Université Fédérale Toulouse Midi-Pyrénées-Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS)-Université Toulouse III - Paul Sabatier (UT3), Université Fédérale Toulouse Midi-Pyrénées-Institut National des Sciences Appliquées - Toulouse (INSA Toulouse), Institut National des Sciences Appliquées (INSA)-Institut National des Sciences Appliquées (INSA)-Institut National Polytechnique (Toulouse) (Toulouse INP), Université Fédérale Toulouse Midi-Pyrénées-Université Toulouse - Jean Jaurès (UT2J)-Université Toulouse 1 Capitole (UT1), Université Fédérale Toulouse Midi-Pyrénées, Service Instrumentation Conception Caractérisation (LAAS-I2C), Université Toulouse Capitole (UT Capitole), Université de Toulouse (UT)-Université de Toulouse (UT)-Institut National des Sciences Appliquées - Toulouse (INSA Toulouse), Institut National des Sciences Appliquées (INSA)-Université de Toulouse (UT)-Institut National des Sciences Appliquées (INSA)-Université Toulouse - Jean Jaurès (UT2J), Université de Toulouse (UT)-Université Toulouse III - Paul Sabatier (UT3), Université de Toulouse (UT)-Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS)-Institut National Polytechnique (Toulouse) (Toulouse INP), Université de Toulouse (UT)-Université Toulouse Capitole (UT Capitole), Université de Toulouse (UT)
Jazyk: angličtina
Rok vydání: 2017
Předmět:
Zdroj: Eurosensors
Eurosensors, Sep 2017, Paris, France. 3p
Proceedings, Vol 1, Iss 4, p 629 (2017)
Popis: International audience; A new millimetre-wave passive and chipless packaged sensor for wireless pressure monitoring in harsh environment is proposed. This sensor uses a planar microstrip resonator coupled with a high resistivity silicon membrane. The remote interrogation of this sensor is performed from a Frequency-Modulated Continuous-Wave (FMCW) radar. Prototypes have been designed and fabricated using photoresist intermediate layer for the silicon membrane bonding. Radar measurements on two sensors validate a 6dB full-scale response for 1.4 bar overpressure. Depression measurements demonstrate the transducer hermeticity and a measured sensitivity of 1.6% per bar on the millimetre-wave resonant frequency.
Databáze: OpenAIRE