Infrared absorption analysis of organosilicon/oxygen plasmas in a microwave multipolar plasma excited by distributed electron cyclotron resonance
| Autor: | Rudolf R. Burke, C. Marlière, P. Raynaud, Y. Segui, D. Berthomieux, Jean Durand |
|---|---|
| Přispěvatelé: | Laboratoire de génie électrique de Toulouse (LGET), Université Toulouse III - Paul Sabatier (UT3), Université Fédérale Toulouse Midi-Pyrénées-Université Fédérale Toulouse Midi-Pyrénées-Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS), Laboratoire des Matériaux et Procédés Membranaires (LMPM), Ecole Nationale Supérieure de Chimie de Montpellier (ENSCM), Laboratoire d'électrostatique et de matériaux diélectriques (LEMD), Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS) |
| Jazyk: | angličtina |
| Rok vydání: | 1998 |
| Předmět: |
010302 applied physics
Chemistry Analytical chemistry General Physics and Astronomy Infrared spectroscopy chemistry.chemical_element Plasma 7. Clean energy 01 natural sciences Oxygen Electron cyclotron resonance 3. Good health 010305 fluids & plasmas chemistry.chemical_compound Excited state 0103 physical sciences [CHIM]Chemical Sciences Microwave ComputingMilieux_MISCELLANEOUS Organosilicon |
| Zdroj: | Journal de Physique IV Proceedings Journal de Physique IV Proceedings, EDP Sciences, 1998, 08 (PR7), pp.Pr7-265-Pr7-272. ⟨10.1051/jp4:1998722⟩ |
| ISSN: | 1155-4339 1764-7177 |
| DOI: | 10.1051/jp4:1998722⟩ |
| Popis: | La dissociation de 4 groupes de monomeres organosilicies (tels que l'hexamethydisiloxane, le tetraethoxysilane, le tetramethylsilane ou encore le tetramethoxysilane) dans un reacteur PMM RCER est analysee par spectroscopie d'absorption infrouge. Les molecules meres sont totalement dissociees au dela de 100 watts. Des molecules stables telles que C 2 H 2 , CH 4 , CO 2 , CO, C 2 H 4 et OCH 2 ont ete detectees a faible puissance mais sont dissociees a plus forte energie. Chaque groupe fait apparaitre ses propres characteristiques au niveau de la dissociation ainsi que de la production de nouvelles especes en fonction de sa composition chimique. II semble que le plasma RCER dissocie les molecules en especes atomiques. |
| Databáze: | OpenAIRE |
| Externí odkaz: |
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