Microstructure and grain boundary evolution in titanium thin films

Autor: Devulapalli, Vivek
Jazyk: angličtina
Rok vydání: 2022
Předmět:
Popis: Korngrenzen (KG) spielen eine entscheidende Rolle bei der Bestimmung der physikalischen und chemischen Eigenschaften von polykristallinen Materialien. In dieser Arbeit untersuchen wir die atomare Struktur von KG in Titan. Eine neuartige bikristalline Dünnschicht wurde mit gepulstem Magnetronsputtern auf SrTiO\(_3\) (001)-Substraten bei 600 °C synthetisiert. Textur und Mikrostruktur der Schichten werden zunächst mit Hilfe der Rasterelektronenmikroskopie analysiert. Alle beobachteten KG wurden als \(\Sigma\)13 [0001] indiziert. Weitere Aufnahmen mit dem Rastertransmissionselektronenmikroskop zeigten, dass die KG häufig in symmetrischen \(\bar {7}\)520- und \(\bar {4}\)310-Facetten und vereinzelt in asymmetrischen 10\(\bar {1}\)0 // 2\(\bar {1}\)\(\bar {1}\)0-Facetten vorliegen. Dabei folgen die symmetrischen KG dem Modell der Struktureinheiten, werden jedoch durch die Zugabe von Fe verändert. Insgesamt werden in dieser Arbeit verschiedene neuartige Verfahren zur Abscheidung von Ti-Dünnschichten und die Analyse der auftretenden KG dargestellt.
Databáze: OpenAIRE