Comprehensive characterization of vertical GaN-on-GaN Schottky barrier diodes

Autor: P. Vigneshwara Raja, Christophe Raynaud, Camille Sonneville, Atse Julien Eric N'Dohi, Hervé Morel, Luong Viet Phung, Thi Huong Ngo, Philippe De Mierry, Eric Frayssinet, Hassan Maher, Josiane Tasselli, Karine Isoird, Frédéric Morancho, Yvon Cordier, Dominique Planson
Přispěvatelé: Ampère, Département Energie Electrique (EE), Ampère (AMPERE), École Centrale de Lyon (ECL), Université de Lyon-Université de Lyon-Université Claude Bernard Lyon 1 (UCBL), Université de Lyon-Institut National des Sciences Appliquées de Lyon (INSA Lyon), Université de Lyon-Institut National des Sciences Appliquées (INSA)-Institut National des Sciences Appliquées (INSA)-Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS)-Institut National de Recherche pour l’Agriculture, l’Alimentation et l’Environnement (INRAE)-École Centrale de Lyon (ECL), Université de Lyon-Institut National des Sciences Appliquées (INSA)-Institut National des Sciences Appliquées (INSA)-Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS)-Institut National de Recherche pour l’Agriculture, l’Alimentation et l’Environnement (INRAE), IIT Dharwad (IITD), Centre de recherche sur l'hétéroepitaxie et ses applications (CRHEA), Université Nice Sophia Antipolis (1965 - 2019) (UNS), COMUE Université Côte d'Azur (2015-2019) (COMUE UCA)-COMUE Université Côte d'Azur (2015-2019) (COMUE UCA)-Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS)-Université Côte d'Azur (UCA), Laboratoire Nanotechnologies et Nanosystèmes [Sherbrooke] (LN2), Université de Sherbrooke (UdeS)-École Centrale de Lyon (ECL), Université de Lyon-Université de Lyon-École Supérieure de Chimie Physique Électronique de Lyon (CPE)-Institut National des Sciences Appliquées de Lyon (INSA Lyon), Université de Lyon-Institut National des Sciences Appliquées (INSA)-Institut National des Sciences Appliquées (INSA)-Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS)-Université Grenoble Alpes (UGA), Équipe Intégration de Systèmes de Gestion de l'Énergie (LAAS-ISGE), Laboratoire d'analyse et d'architecture des systèmes (LAAS), Université Toulouse Capitole (UT Capitole), Université de Toulouse (UT)-Université de Toulouse (UT)-Institut National des Sciences Appliquées - Toulouse (INSA Toulouse), Institut National des Sciences Appliquées (INSA)-Université de Toulouse (UT)-Institut National des Sciences Appliquées (INSA)-Université Toulouse - Jean Jaurès (UT2J), Université de Toulouse (UT)-Université Toulouse III - Paul Sabatier (UT3), Université de Toulouse (UT)-Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS)-Institut National Polytechnique (Toulouse) (Toulouse INP), Université de Toulouse (UT)-Université Toulouse Capitole (UT Capitole), Université de Toulouse (UT), RENATECH, ANR-11-LABX-0014,GANEX,Réseau national sur GaN(2011), ANR-18-CE05-0045,C-PI-GaN,Combinaison de transistors GaN à architectures verticale et horizontale pour la conversion de puissance(2018)
Jazyk: angličtina
Rok vydání: 2022
Předmět:
Zdroj: Microelectronics Journal
Microelectronics Journal, 2022, 128, pp.105575. ⟨10.1016/j.mejo.2022.105575⟩
ISSN: 0026-2692
DOI: 10.1016/j.mejo.2022.105575⟩
Popis: International audience; This paper reports comprehensive characterization of vertical GaN-on-GaN Schottky barrier diodes (SBDs) fabricated on free-standing GaN substrates. The GaN active layer properties are evaluated by atomic force microscopy (AFM), secondary-ion mass spectrometry (SIMS), micro-Raman spectroscopy, cathodoluminescence (CL), and deep-level transient Fourier spectroscopy (DLTFS). The GaN SBDs exhibit near-unity ideality factor (n = 1.1), promising Schottky barrier height (SBH) of ΦB = 0.82 eV, low turn-on voltage ~0.56 V, leakage current density of JR < 5.5×10-6 Acm-2 at-100 V, breakdown voltage VBR
Databáze: OpenAIRE
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