A physics-based investigation of Pt-salt doped carbon nanotubes for local interconnects
| Autor: | Asen Asenov, Jie Liang, A. Dhavamani, Vihar P. Georgiev, Jean Dijon, Reetu Raj Pandey, G. Goncalves, Katharina Lilienthal, Aida Todri-Sanial, Hanako Okuno, R. Ramos, Bernd Gotsmann, Jaehyun Lee, Fabian Könemann, Bingan Chen, Benjamin Uhlig, D. Renaud, Toufik Sadi, Kenneth B. K. Teo, Dipankar Kalita, Salim Berrada |
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| Přispěvatelé: | Smart Integrated Electronic Systems (SmartIES), Laboratoire d'Informatique de Robotique et de Microélectronique de Montpellier (LIRMM), Université de Montpellier (UM)-Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS)-Université de Montpellier (UM)-Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS), Laboratoire d'Innovation pour les Technologies des Energies Nouvelles et les nanomatériaux (LITEN), Institut National de L'Energie Solaire (INES), Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives (CEA)-Université Savoie Mont Blanc (USMB [Université de Savoie] [Université de Chambéry])-Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS)-Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives (CEA)-Université Savoie Mont Blanc (USMB [Université de Savoie] [Université de Chambéry])-Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS), Institut Nanosciences et Cryogénie (INAC), Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives (CEA)-Université Grenoble Alpes [2016-2019] (UGA [2016-2019]), James Watt School of Engineering [Univ Glasgow], University of Glasgow, Fraunhofer Institute Material and Beam Technology [Dresden] (Fraunhofer IWS), Fraunhofer (Fraunhofer-Gesellschaft), IBM Research Laboratory [Zurich], IBM Research [Zurich], Aixtron (UK), AIXTRON SE, European Project: 688612,H2020,H2020-ICT-2015,CONNECT(2016), Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS)-Université de Montpellier (UM)-Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS)-Université de Montpellier (UM), Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS)-Université Savoie Mont Blanc (USMB [Université de Savoie] [Université de Chambéry])-Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives (CEA)-Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS)-Université Savoie Mont Blanc (USMB [Université de Savoie] [Université de Chambéry])-Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives (CEA), Université Grenoble Alpes [2016-2019] (UGA [2016-2019])-Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives (CEA) |
| Jazyk: | angličtina |
| Rok vydání: | 2017 |
| Předmět: |
Materials science
02 engineering and technology Conductivity 01 natural sciences 7. Clean energy Metal symbols.namesake Condensed Matter::Materials Science [SPI]Engineering Sciences [physics] Electrical resistance and conductance 0103 physical sciences Electrical measurements [SPI.NANO]Engineering Sciences [physics]/Micro and nanotechnologies/Microelectronics 010302 applied physics ta114 business.industry Scattering Doping Fermi level Conductance 021001 nanoscience & nanotechnology visual_art visual_art.visual_art_medium symbols Optoelectronics Condensed Matter::Strongly Correlated Electrons 0210 nano-technology business |
| Zdroj: | IEEE International Electron Devices Meeting IEDM: International Electron Devices Meeting IEDM: International Electron Devices Meeting, Dec 2017, San Francisco, United States. ⟨10.1109/IEDM.2017.8268502⟩ 2017 IEEE International Electron Devices Meeting (IEDM) |
| ISSN: | 2156-017X |
| DOI: | 10.1109/IEDM.2017.8268502⟩ |
| Popis: | International audience; We investigate, by combining physical and electrical measurements together with an atomistic-to-circuit modeling approach, the conductance of doped carbon nanotubes (CNTs) and their eligibility as possible candidate for next generation back-end-of-line (BEOL) interconnects. Ab-initio simulations predict a doping-related shift of the Fermi level, which reduces shell chirality variability and improves electrical conductance up to 90% by converting semiconducting shells to metallic. Circuit-level simulations predict up to 88% signal delay improvement with doped vs. pristine CNT. Electrical measurements of Pt-salt doped CNTs provide up to 50% of resistance reduction which is a milestone result for future CNT interconnect technology. |
| Databáze: | OpenAIRE |
| Externí odkaz: |
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