Digitale Mehrwellenlängen-Holografie für makroskopische Topografien in mikroskopischer Genauigkeit

Autor:	Heinrich Höfler, Markus Fratz, Daniel Carl
Přispěvatelé:	Publica
Rok vydání:	2010
Předmět:	Mehrwellenlängen-Holografie Qualitätskontrolle topography measurement Materials science inline measurement multi-wavelength holography optical measurement quality control Electrical and Electronic Engineering Topografiemesstechnik Inline-Messtechnik Instrumentation optische Meßtechnik
Zdroj:	tm - Technisches Messen. 77:462-466
ISSN:	0171-8096
Popis:	Zusammenfassung Optische Systeme für die Vermessung dreidimensionaler Oberflächen sind für die Inline-Inspektion oft zu langsam oder zu ungenau. Deshalb hat Fraunhofer IPM Inspektionssysteme entwickelt, die auf digitaler Mehrwellenlängen-Holografie basieren. Die Systeme zeichnen sich durch extrem kurze Messzeit und hohe Genauigkeit aus und sind daher für die 100-Prozent-Kontrolle in der Fertigungslinie geeignet.
Databáze:	OpenAIRE
Externí odkaz:	https://explore.openaire.eu/search/publication?articleId=doi_dedup___::db37f1273728ddda3aa6b5dc8902e170 https://doi.org/10.1524/teme.2010.0049 Zobrazit plný text záznamu