Effet de confinement géométrique sur la déformation plastique cristalline : cas du film mince sur substrat

Autor: S. Vu-Hoang, M. Verdier, G. Parry
Přispěvatelé: Science et Ingénierie des Matériaux et Procédés (SIMaP), Université Joseph Fourier - Grenoble 1 (UJF)-Institut polytechnique de Grenoble - Grenoble Institute of Technology (Grenoble INP )-Institut National Polytechnique de Grenoble (INPG)-Institut de Chimie du CNRS (INC)-Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS)
Jazyk: angličtina
Rok vydání: 2010
Předmět:
Zdroj: Matériaux 2010
Matériaux 2010, Oct 2010, NANTES, France
Matériaux & Techniques
Matériaux & Techniques, EDP Sciences, 2011, 99, pp.261-270
ISSN: 0032-6895
1778-3771
Popis: La geometrie des materiaux sous forme de couches minces est a la base de la technologie des dispositifs de petite taille. La caracterisation mecanique de ces couches est determinante pour leur integration industrielle. L’indentation instrumentee est une methode de mesure bien adaptee aux petites echelles. Dans cette etude, nous nous interessons a l’effet au premier ordre de la geometrie du film sur l’essai d’indentation. Pour cela, nous decrivons le comportement du film a l’aide des lois de plasticite cristalline utilisant les densites de dislocations comme variable interne (sans ecrouissage cinematique ni introduction de gradient de deformation). Cette strategie de modelisation a donne de tres bons accords quantitatifs avec l’experience dans le cas de monocristaux massifs de Cu. Elle est ici utilisee pour explorer uniquement l’effet geometrique du a l’epaisseur finie du film plastique depose sur un substrat elastique. Les criteres de comparaison entre le cas massif et la geometrie planaire sont d’une part les courbes de force et de rigidite en fonction de la profondeur d’indentation et d’autre part les champs de deplacement en surface : ces donnees sont facilement accessibles experimentalement (Microscopie a Force Atomique) et numeriquement. Les simulations numeriques sont confrontees a des donnees experimentales obtenues sur des films de Cu sur Si et des monocristaux de Cu.
Databáze: OpenAIRE
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