Improving silicon nitride ring resonator performances on 300 mm industrial environment for point of care applications (Conference Presentation)

Autor:	Romain Stricher, Michele Calvo, Pauline Girault, Laurence Mercier-Coderre, Michael Canva, Regis Orobtchouk, Paul G. Charette, Guillaume Beaudin, Serge Ecoffey, Stephane Monfray, Pedro Rojo-Romeo, Dominique Drouin, Frederic Boeuf
Přispěvatelé:	Laboratoire Nanotechnologies et Nanosystèmes [Sherbrooke] (LN2), Université de Sherbrooke (UdeS)-École Centrale de Lyon (ECL), Université de Lyon-Université de Lyon-École supérieure de Chimie Physique Electronique de Lyon (CPE)-Institut National des Sciences Appliquées de Lyon (INSA Lyon), Institut National des Sciences Appliquées (INSA)-Université de Lyon-Institut National des Sciences Appliquées (INSA)-Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS)-Université Grenoble Alpes (UGA), Institut Interdisciplinaire d'Innovation Technologique [Sherbrooke] (3IT), Université de Sherbrooke (UdeS), INL - Nanophotonique (INL - Photonique), Institut des Nanotechnologies de Lyon (INL), École Centrale de Lyon (ECL), Université de Lyon-Université de Lyon-Université Claude Bernard Lyon 1 (UCBL), Université de Lyon-École supérieure de Chimie Physique Electronique de Lyon (CPE)-Institut National des Sciences Appliquées de Lyon (INSA Lyon), Institut National des Sciences Appliquées (INSA)-Université de Lyon-Institut National des Sciences Appliquées (INSA)-Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS)-École Centrale de Lyon (ECL), Institut National des Sciences Appliquées (INSA)-Université de Lyon-Institut National des Sciences Appliquées (INSA)-Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS), STMicroelectronics [Crolles] (ST-CROLLES), Université de Lyon-Institut National des Sciences Appliquées (INSA)-Institut National des Sciences Appliquées (INSA)-Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS)-Université Grenoble Alpes (UGA), Université de Lyon-Institut National des Sciences Appliquées (INSA)-Institut National des Sciences Appliquées (INSA)-Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS)-École Centrale de Lyon (ECL), Université de Lyon-Institut National des Sciences Appliquées (INSA)-Institut National des Sciences Appliquées (INSA)-Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS)
Rok vydání:	2020
Předmět:	Materials science business.industry media_common.quotation_subject Ring (chemistry) [SPI]Engineering Sciences [physics] Resonator Presentation chemistry.chemical_compound Silicon nitride chemistry Optoelectronics business ComputingMilieux_MISCELLANEOUS Point of care media_common
Zdroj:	Biophotonics in Point-of-Care Biophotonics in Point-of-Care, Apr 2020, Online Only, France. pp.5, ⟨10.1117/12.2555339⟩
DOI:	10.1117/12.2555339
Popis:	International audience
Databáze:	OpenAIRE
Externí odkaz:	https://explore.openaire.eu/search/publication?articleId=doi_dedup___::d3c9f7ea6a333cadc36844cff998884f https://doi.org/10.1117/12.2555339 Zobrazit plný text záznamu