Багатошарові наноструктуровані покриття (TiZr)N / (TiSi)N, сформовані методом вакуумно-дугового осадження
| Autor: | V. А. Stolbovoy, L. V. Malikov, I.V. Kolodiy, S. V. Lytovchenko, B. А. Mazilin, О. V. Glukhov, M. G. Kovalyova, Е. V. Kritsyna, V. M. Beresnev |
|---|---|
| Jazyk: | angličtina |
| Rok vydání: | 2018 |
| Předmět: |
Radiation
Materials science Metallurgy багатошарове покриття adhesive strength Vacuum arc multilayer coating Condensed Matter Physics Indentation hardness нітридні покриття структура елементний склад Adhesion strength composition of elements адгезійна міцність мікротвердість microhardness General Materials Science structure Deposition (chemistry) nitride coatings |
| Popis: | Досліджено структуру та властивості наномасштабних багатошарових покриттів на основі (TiZr)N та (TiSi)N, сформованих ваккумно-дуговим методом. Проаналізовано вплив парціального тиску азоту на структурно-фазовий стан покриттів. Нітридні фази є сильно текстурованими, кристалографічні площини (111) більшості зерен орієнтовані паралельно до поверхні. Розраховано розміри областей когерентного розсіювання і рівні мікроспотворень ґратів. Твердість покриттів досягала 37,1 ГПа, а навантаження адгезійного руйнування перевищує 150 Н. Технологія процесу забезпечує високу однорідність і низьку дефектність сформованого покриття. The paper investigates the structure and properties of nanoscale multilayer coatings based on (TiZr)N and (TiSi)N produced by vacuum arc technique. Also, it provides an analysis of the impact of partial pressure of nitrogen on structural and phase state of coatings. The nitride phases are strongly textured, crystallographic planes (111) of most grains are oriented parallel to the surface. Dimensions of the coherent scattering regions and values of micro-distortions of the lattice have been calculated. The hardness of coatings reached 37.1 GPa, and the adhesion fracture load exceeds 150 N. The process technology ensures high uniformity of and a low defect rate in obtained coatings. |
| Databáze: | OpenAIRE |
| Externí odkaz: |
|